科技廠房空調如何選？半導體空調與空調系統｜常見問題

一、科技廠房空調系統與普通空調有何不同？

一般住宅或商辦空調主要著重於「人」的舒適感，強調溫度均勻與節能控制；但科技廠房空調的設計核心則完全不同。

在半導體與精密電子產業中，空調系統不僅要調控溫濕度，更須穩定潔淨度、氣流方向與壓差環境，確保製程良率。

1. 溫濕度精準控制

半導體製程對溫度及濕度的要求極高，通常需控制在 ±0.1°C 與 ±1%RH 的範圍內。若環境波動過大，可能導致晶圓光阻層厚度不均、微塵吸附或靜電異常，造成生產瑕疵。

2. 潔淨室規格要求

半導體空調系統多與潔淨室（Clean Room）整合運作，依據製程不同，可能需達到 ISO Class 5 至 Class 7 標準。空氣需經 HEPA 或 ULPA 濾網層層過濾，確保懸浮微粒濃度降至最低。

3. 空氣流場與壓差設計

在製程區內，空氣流向與壓力設計至關重要。需確保潔淨區的氣流自上而下垂直流動，避免塵埃回流。正壓環境設計可防止外部污染氣體滲入，維持高潔淨度。

4. 高穩定性與系統冗餘

科技廠房的機台24小時運轉，任何一處冷卻異常都可能造成巨額損失。為此，空調系統整合常採用雙迴路冰水主機與多機備援設計，確保在維修或突發狀況下仍可穩定供應冷源。

二、空調系統整合技術重點

現代科技廠房講求系統整合與能源效率，從主機、冷卻塔到末端送風設備，每一環節都需精準搭配。以下為幾項核心技術說明：

冰水主機與冷卻水塔系統

冰水主機是科技廠房空調的心臟，用於提供整廠冷媒水。現代化廠房多採用離心式或磁浮式冰水主機，不僅高效節能，更可搭配智慧監控系統，依負載自動調整運轉。

冷卻水塔則負責排放系統熱能，需根據主機容量與氣候條件精準設計，確保整體效率與穩定性。

空氣處理機組（AHU）與風管配置

空氣處理機組 (Air Handling Unit) 是控制溫濕度與潔淨度的關鍵設備。透過加熱、冷卻、除濕與濾塵等多重處理後，潔淨空氣再經由風管送達各製程區。

風管的流體力學設計需避免壓降過大與死角，並搭配變頻送風機以節省能源，同時確保空氣分佈均勻。

智慧監控與能源管理

導入BAS（Building Automation System）或EMS（Energy Management System）能即時監控冰水溫度、濕度與風量分佈，進行數據分析與自動化調整。透過IoT連網監控，管理者可遠端掌握運轉狀況，提升維護效率。

三、半導體空調與空調系統｜常見問題Q&A

Ｑ：舊有廠房是否也能進行空調系統整合升級？

可以。透過專業評估，可保留原有機電管線與部分設備，重新設計空調主機、風管與控制系統。這種空調系統整合升級方式能有效延長設備壽命並提升能源效率，常見於半導體、電子及精密醫療產業。

Ｑ：進行半導體或科技廠房空調工程需要多長時間？

一般新建廠房的空調工程期約需3至6個月，若為既有廠房改裝則依現場條件而定。工程包含設計、管線配置、設備安裝與測試階段，確保整體性能達到製程需求。

Ｑ：空調系統整合工程完成後，是否有定期維護服務？

有的。為確保長期穩定運作，專業廠商會提供定期保養計畫，包括濾網更換、冷媒檢測、系統清洗與效能校正。部分高階系統更可搭配遠端監控，提前預警異常狀況。

Ｑ：如何確保半導體潔淨室的溫濕度穩定性？

可透過雙迴路冰水主機、高精度控制閥及PID自動控制技術，確保溫濕度變化維持在極低範圍內。同時，空調主機與風量感測器需連動運作，以即時平衡壓力差。

Ｑ：導入半導體空調系統需要考量哪些法規與標準？

主要依據ISO 14644（潔淨室標準）、ASHRAE規範及環保署能源效率標準。若涉及特殊製程（如化學品或氣體使用），還需遵守消防與安全通風規範。

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