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潔淨室空調 MAU、DCC、FFU 是什麼?空調系統節能規劃
在半導體、光電、生技與醫療產業中,「潔淨室空調系統」是維持產品良率與製程穩定的關鍵。隨著節能減碳與ESG政策推動,許多企業開始關注如何在維持潔淨度的同時達到空調系統節能。本文帶您了解潔淨室空調的運作原理、三大核心設備(MAU、DCC、FFU)角色,以及如何透過系統整合達到高效節能,協助您打造兼顧品質與效益的智慧潔淨環境。
一、潔淨室空調是什麼?跟一般空調差在哪裡?
一般商用空調的主要任務是調節「溫度與濕度」,而潔淨室空調(Cleanroom HVAC)則進一步控制「潔淨度、氣流模式與壓差」,確保空氣中的微粒濃度達到ISO 14644標準。這樣的系統不僅僅是舒適性空調,而是為製程穩定與產品品質保證所設計的高精密空調系統。
在設計上,潔淨室空調具備以下特色:
氣流設計:依照無塵等級採用層流或亂流設計,確保氣流單向、污染不回流。
多級過濾系統:包含預濾網、中效與HEPA或ULPA高效濾網,確保空氣潔淨。
壓差控制:維持關鍵區域正壓或負壓,防止交叉污染。
溫濕精控:溫度控制可達±1°C內,濕度控制精度可達±5%。
因此,潔淨室空調在設計、施工與控制邏輯上遠比一般空調複雜,需透過專業空調系統整合來達到節能與穩定雙效目標。
二、潔淨室空調三大關鍵設備如何搭配運作?
在一個完整的潔淨室空調系統中,MAU、DCC與FFU 是維持潔淨與節能的三大主角。
MAU(Make-up Air Unit 外氣空調箱)
MAU負責處理外氣(新風),將新鮮空氣進行初步過濾與溫濕度調節,再送入潔淨室系統。由於外氣負荷變化大,MAU通常配置節能熱回收與智慧控制功能,以減少能耗並保持新風穩定性。
DCC(Dry Cooling Coil 乾式冷卻盤管)
DCC主要負責溫濕度的精密微調,常搭配恆溫恆濕控制與冷凍水系統,確保空氣在進入潔淨室前達到最適條件。透過變頻控制與動態回水溫度調整,可有效提升空調系統節能效益。
FFU(Fan Filter Unit 風機濾網機組)
FFU 是潔淨室內部的最後一道防線,內建風機與HEPA濾網,將空氣均勻送入作業區。FFU可依區域負荷、製程條件進行分區控制,達到「潔淨不浪費」的節能效果。
整體流程為:外氣進入 → MAU 預處理 → DCC 精控調節 → FFU 均勻送風。
透過智慧控制系統(BMS / SCADA),可即時監控風量、濕度與壓差,實現全系統的節能最佳化。
三、潔淨室空調|常見問題 Q&A
Q:FFU 全開才潔淨嗎?能不能分區節能?
A:不必全開。現代系統可依製程需求設定分區運轉,例如非生產時段僅保留關鍵區域FFU運行,搭配壓差監測仍可維持潔淨度並達到節能目的。
Q:舊有空調系統能否與新監控系統整合?
A:可以。透過Modbus、BACnet等通訊協定,既有設備可整合進新的智慧監控平台,達到集中監控與節能優化。
Q:溫濕度控制精度不足會有哪些影響?
A:溫濕度波動會導致晶圓曝光誤差、藥品失效或設備結露,進而影響良率與製程穩定,因此精密控制是潔淨室空調設計的核心。
Q:建置專案工期通常多久?
A:依據廠區規模與等級需求不同,從設計到驗收約需3至6個月,包含系統調校與ISO驗證。
Q:是否能提供客製化設計?
A:是的。依據不同產業需求,可規劃不同的MAU容量、FFU數量與控制邏輯,打造最適化的空調系統節能方案。
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